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详解刻蚀清洗机的结构和工作原理-官网注册


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【ag体育】湿法光刻是利用合适的光刻液将晶圆上待光刻的薄膜分解,然后将其转化为可溶的化合物并去除。湿法光刻清洗机的结构和工作原理是什么?今天带大家去看看。一、光刻清洗设备分类湿法光刻清洗机根据清洗结构可分为槽式批量清洗和整体式清洗机两种。沟槽清洗可分为半自动清洗和全自动清洗。

二.清洗设备的结构清洗设备主要由耐腐蚀框架、酸罐、水箱、湿罐、控制单元、排气单元和气液管道单元组成。湿法光刻清洗机的结构部件,其中酸槽和管道单元是清洗设备的主要部件。

根据材料的不同,储罐可分为不锈钢储罐、NPP储罐、聚偏氟乙烯储罐、聚四氟乙烯储罐、应时储罐等。根据功能的不同,槽可以分为酸碱光刻槽、溢流清洗槽、缓排槽和使晶圆缓湿的湿槽等。

根据清洗技术的不同拒绝,可以减少生锈液体的成像、兆声清洗和生锈。在材料的自由选择上,不锈钢罐主要用作有机溶液或碱性溶液;应时冷却罐主要用作酸性溶液,罐体耐高温,一般200摄氏度,最低可超过400摄氏度;高纯聚丙烯罐主要用作酸碱溶液,温度大于80摄氏度;聚氟乙烯储罐通常用于盛装BOE和氢氟酸,最低拒收温度不能低于120摄氏度。特氟龙罐可用作所有酸、碱和有机溶液,其耐温性大于150。

从功能的自由选择来说,酸碱光刻后去离子水的漂洗常用QDR槽,即慢灌清洗槽。其工作原理是将去离子水从罐体上部喷出,流经底部,待一定量后,再慢慢排出去离子水。通过缓慢排出去离子水来带走杂质离子。

这个过程通常重复3-4个周期。其工作原理如图1右图所示。

图1 1QDR罐清洗示意图。成像罐是指利用罐体的底部或侧面对振动板产生的超声波进行成像和接收。超声波分解水或溶液中的大量气泡,气泡破裂释放出强大的动能。

一般来说,超声波的频率是28千赫或48千赫,频率越高,去除的颗粒越小。工艺锈槽是指利用各种酸碱光刻溶液和有机溶液构建某种光刻工艺或去除效应。溢流槽的工作原理是去离子水不断从底部流过,从上部外围溢出,从而通过水流去除污染物。

其工作原理如图2右图所示。。

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